[问答题] 光刻技术
[问答题] 光刻技术
发布时间：2026-02-06 16:55:56
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由 题搜搜 官方老师解答 )
答案：光刻加工是用照相复印的方法将光刻掩膜上的图像印制在涂有光致抗蚀剂（光刻胶）的薄膜或基材表面，然后进行选择性腐蚀，刻蚀出规定的图形。光刻工艺的基本过程包括涂胶、曝光、显影、坚膜、腐蚀、去胶。
