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简述离子注入的LSS模型。

发布时间：2025-01-29 06:20:14

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答案：答:LSS模型认为,离子注入的机理是注入离子与晶格原子的原子核及核外电子发生碰撞,从而引起注入离子的能量损失及散射,直至能量为零,注入离子停下。1)注入离子的核阻挡:注入离子与晶格原子的原子核发生弹性碰撞,由于核的质量较大(离子与靶原子质量同数量级),因而造成了注入离子的大角度散射,并将其能量传递给晶格原子,使晶格原子脱离其晶格点阵的位置,形成空位,自身成为间隙原子,并进一步与下一层的晶格原子发生级联碰撞,形成更多的间隙原子和空位,从而引起更多、更深的晶格损伤。2)注入离子的电子阻挡:注入离子与晶格原子的自由电子及核外电子(束缚电子)发生碰撞,由于电子的质量太轻,注入离子的能量损失很少,晶格损伤可以忽略,且散射角度也很小,注入离子路径基本不变。