请在下方输入要搜索的题目：

刻蚀常见问题及解决方案

发布时间：2025-12-21 08:42:26

推荐参考答案 ( 由题搜搜官方老师解答 )

答案：1、发生掩膜损失，可采用转换为硬掩膜解决2、侧壁沉积物过多，减小腐蚀窗口，可通过在反应气氛中加入少量的氧气控制侧壁沉积含量3、发生天线效应，等离子导致栅氧层损伤，采用向上向下条线或在栅周围增加二极管4、负载效应，合理设计刻蚀总面、刻蚀图形密度和刻蚀深宽比