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正性光刻胶与负性光刻胶的显影有什么不同？

发布时间：2025-11-25 14:27:26

推荐参考答案 ( 由题搜搜官方老师解答 )

答案：【计分规则】: 对于负胶来说，显影过程几乎不发生化学反应。曝光的部分由于交联变硬，不容易溶解于溶剂中。未曝光的部分没有发生交联，很软而且容易溶解在溶剂当中，显影液通常是一种有机溶剂（如：二甲苯）。对于正胶显影液包含了显影液与光刻胶之间的化学反应。从而溶解已曝光的光刻胶。正胶显影液是一种用水稀释的强碱溶液，早期用氢氧化钠或氢氧化钾水溶液。由于可动离子的污染，在大规模集成电路生产中已经不适用了。目前采用的最多的正胶显影液一般是四甲基氢氧化铵TMAH 【tetramethyl ammonium hydride，(CH3)4NOH】